학술논문

Alkaline cleaning behavior of a fluoridated carbon brush / フッ化炭素系ブラシのアルカリ洗浄挙動
Document Type
Journal Article
Source
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2020, :1736
Subject
10p-Z09-2
Alkaline cleaning
Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション
a fluoridated carbon brush
semiconductor
アルカリ洗浄
フッ化炭素系ブラシ
半導体
清浄化
Language
Japanese
ISSN
2436-7613