학술논문 – 부산대학교 도서관

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中性粒子ビームを用いた3D MEMSデバイス作製のためのSiエッチング

Document Type

Journal Article

Author

三輪和弘; 久保田智広; 寒川誠二; 杉山正和; 植木真治; 橋口原; 西森勇貴

Source

JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2013, :3720

Subject

29a-G7-3
MEMS
Si Etching
中性粒子
合同セッションL ｢MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化｣

Language

Japanese

ISSN

2436-7613

Online Access

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