학술논문

2インチ(-201)β-Ga2O3基板の作製と評価 / Fabrication and Characterization of 2-inch (-201) β-Ga2O3 Substrates
Document Type
Journal Article
Source
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2014, :216
Subject
19p-E10-10
ワイドバンドギャップ酸化物半導体による新しい機能の創成
分科企画シンポジウム
酸化ガリウム
Language
Japanese
ISSN
2436-7613