학술논문

Optically detected magnetic resonance of 3D arrayed silicon vacancies in SiC pn diodes / SiC デバイス内の3 次元配列シリコン空孔を用いた光検出磁場共鳴測定
Document Type
Journal Article
Source
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2019, :3653
Subject
20p-E311-17
IV族系化合物(SiC)
Quantum sensor
Silicon vacancy
シリコン空孔
物性評価
結晶工学
量子センサ
Language
Japanese
ISSN
2436-7613