학술논문

Characterization of polycrystalline YIG thin films on Si Substrates by RF Magnetron Sputtering and Annealing / RFマグネトロンスパッタリング法と熱処理によって製膜したSi基板上多結晶YIG薄膜の評価
Document Type
Journal Article
Source
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2019, :1221
Subject
19a-E206-7
buffer layer
magnetic garnet
シリコンフォトニクス
バッファ層
光・フォトニクス
新規材料,プロセス,評価
磁性ガーネット
Language
Japanese
ISSN
2436-7613