학술논문

Untersuchungen zur thermisch induzierten Festphasenkristallisation von Silitium-Dünnschichten durch Diodenlaserbestrahlung
Investigations into the thermally induced solid phase crystallization of silicon thin layers by diode laser irradiation
Document Type
TEXT
Source
Subject
Physik
Kristallisation / Laserdiode
Crystallization/laser diode
Language
German
Abstract
Jena, Friedrich-Schiller-Universität Jena, Diss., 2015