학술논문 – 부산대학교 도서관

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Fabrication of PolySilicon Microstructures using the PolyMEMS INAOE Technology

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Calleja Arriaga, Wilfrido; Diaz Alonso, D.; Hidalga, J.; Linares, M.; Molina, J.; Quiñones-Novelo, F. J.; Reyes, C.; Rosales, P.; Torres-Jacome, A.; Zuñiga-Islas, C.

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