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챔버 시스템 내 속도 균일도 분석
Air Flow Uniformity Analysis in a Chamber System

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Author

공병진; 변상호; 박다인; 홍승호; 이상호; B. J. Kong; S. H. Byoun; D. I. Bak; S. H. Hong; S. H. Lee

Source

한국기계기술학회 학술대회논문집, 06/22/2023, p. 11-12

Subject

공기 유동장
유속 균일도
챔버
Air flow field
Velocity Uniformity
Chamber system

Language

Korean

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