학술논문 – 부산대학교 도서관

학술논문

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Analysis of residual thermal stress for AlN crystal growth by PVT

Document Type

Article

Author

Qin, Z.Y.; Li, W.L.; Sun, Z.H.; Ji, J.H.; Wu, H.L.; Jin, L.

Source

In Vacuum August 2023 214

Subject

Language

ISSN

0042-207X

Online Access

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