학술논문 – 부산대학교 도서관

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Single-crystal silicon micromirror array with polysilicon flexures

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Article

Author

Kudrle, T.D. ; Wang, C.C.; Bancu, M.G.; Hsiao, J.C.; Pareek, A.; Waelti, M.; Kirkos, G.A.; Shone, T.; Fung, C.D.; Mastrangelo, C.H.

Source

In Sensors & Actuators: A. Physical 2005 119(2):559-566

Subject

Language

ISSN

0924-4247

Online Access

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