학술논문 – 부산대학교 도서관

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LaLuO3 higher-κ dielectric integration in SOI MOSFETs with a gate-first process

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Article

Author

Nichau, A.; Durğun Özben, E.; Schnee, M.; Lopes, J.M.J.; Besmehn, A.; Luysberg, M.; Knoll, L.; Habicht, S.; Mussmann, V.; Luptak, R.; Lenk, St.; Rubio-Zuazo, J.; Castro, G.R.; Buca, D.; Zhao, Q.T.; Schubert, J.; Mantl, S.

Source

In Solid State Electronics May 2012 71:19-24

Subject

Language

ISSN

0038-1101

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