학술논문 – 부산대학교 도서관

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Micromachined gas calibration sources based on nanometric depth microchannels

Document Type

Article

Author

Zampolli, S.; Elmi, I.; Mancarella, F.; Messina, M.; Marra, G.; Cozzani, E.; Belluce, M.; Tamarri, F.; Sanmartin, M.; Cardinali, G.C.; Severi, M.

Source

In Procedia Engineering 2010 5:1344-1347

Subject

Language

ISSN

1877-7058

Online Access

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