학술논문 – 부산대학교 도서관

학술논문

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Silicon surface treatments in advanced MOS gate processing

Document Type

Article

Author

Chang, K.; Shanmugasundaram, K.; Lee, D.O.; Roman, P.; Wu, C.-T.; Wang, J.; Shallenberger, J.; Mumbauer, P.; Grant, R.; Ridley, R.; Dolny, G.; Ruzyllo, J.

Source

In Microelectronic Engineering 2004 72(1):130-135

Subject

Language

ISSN

0167-9317

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