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3D monolithic integration: Technological challenges and electrical results
Document Type
Article
Author
Vinet, M.; Batude, P.; Tabone, C.; Previtali, B.; LeRoyer, C.; Pouydebasque, A.; Clavelier, L.; Valentian, A.; Thomas, O.; Michaud, S.; Sanchez, L.; Baud, L.; Roman, A.; Carron, V.; Nemouchi, F.; Mazzocchi, V.; Grampeix, H.; Amara, A.; Deleonibus, S.; Faynot, O.
Source
In Microelectronic Engineering 2011 88(4):331-335
Subject
Language
ISSN
0167-9317

Online Access

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