학술논문 – 부산대학교 도서관

학술논문

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Characterization of high- K/metal gate using picosecond ultrasonics

Document Type

Article

Author

Hsieh, D.B.; Tsai, T.C.; Huang, S.F.; Yang, Y.R.; Yang, C.L.; Wu, J.Y.; Dai, J.; Chen, J.; Tan, J.; Mukundhan, P.

Source

In Microelectronic Engineering 2011 88(5):583-588

Subject

Language

ISSN

0167-9317

Online Access

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