학술논문 – 부산대학교 도서관

학술논문

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Copper diffusion in TaN-based thin layers

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Article

Author

Nazon, J.; Fraisse, B.; Sarradin, J.; Fries, S.G.; Tedenac, J.C.; Fréty, N.

Source

In Applied Surface Science 2008 254(18):5670-5674

Subject

Language

ISSN

0169-4332

Online Access

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