학술논문 – 부산대학교 도서관

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Advanced approach of bulk (111) 3C-SiC epitaxial growth

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Article

Author

Calabretta, C.; Scuderi, V.; Bongiorno, C.; Anzalone, R.; Reitano, R.; Cannizzaro, A.; Mauceri, M.; Crippa, D.; Boninelli, S.; La Via, F.

Source

In Microelectronic Engineering 1 January 2024 283

Subject

Language

ISSN

0167-9317

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