학술논문 – 부산대학교 도서관

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Self-aligned multi-level air gap integration

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Article

Author

Hoofman, R.J.O.M.; Caluwaerts, R.; Michelon, J.; Herrero Bernabé, P.; Gueneau de Mussy, J.P.; Bruynseraede, C.; Lee, J.M.; List, S.; Bancken, P.H.L.; Beyer, G.

Source

In Microelectronic Engineering 2006 83(11):2150-2154

Subject

Language

ISSN

0167-9317

Online Access

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