학술논문 – 부산대학교 도서관

학술논문

replay검색결과 돌아가기

search검색화면

Aluminium nitride–niobium multilayers and free-standing structures for MEMS

Document Type

Article

Author

Danylyuk, S.V.; Ott, R.; Panaitov, G.; Pickartz, G.; Hollmann, E.; Vitusevich, S.A.; Belyaev, A.E.; Klein, N.

Source

In Thin Solid Films 2006 515(2):489-492

Subject

Language

ISSN

0040-6090

Online Access

Full Text (ScienceDirect) Web of Science JCR 저널정보 Scopus Find it@PNU

이메일