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Spectral characterization of medium-pressure RF discharge in argon-oxygen mixture
Document Type
Article
Author
Jõgi, I.; Raud, J.; Hein, K.; Laan, M.
Source
In: Journal of Physics D: Applied Physics. (Journal of Physics D: Applied Physics, 20 August 2014, 47(33))
Subject
Language
English
ISSN
13616463
00223727

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