학술논문 – 부산대학교 도서관

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New Heteroleptic Germanium Precursors for GeO2 Thin Films by Atomic Layer Deposition

Document Type

Article

Author

Choi, H.; Park, C.; Lee, S.K.; Ryu, J.Y.; Eom, T.; Chung, T.-M.; Son, S.U.

Source

In: ACS Omega. (ACS Omega, 21 November 2023, 8(46):43759-43770)

Subject

Language

English

ISSN

24701343

Online Access

OA (ACS) Web of Science JCR 저널정보 Scopus Find it@PNU

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