학술논문
Characterization of laser-welded structures in glass using acoustic microscopy
Document Type
research-article
Author
Source
Practical Metallography. 59(8-9):520-531
Subject
Language
English
ISSN
2195-8599
0032-678X
0032-678X
Abstract
Glassubstrate spielen in der Mikrochipfertigung eine zunehmend wichtige Rolle. In diesem Beitrag wird das Potential der UltraschallRastermikroskopie zur Charakterisierung von Laserschweißstrukturen in dünnen Glasobjektträgern beschrieben. Strukturen im Innern des Glasvolumens können mit dieser Methode schnell und mit hoher Genauigkeit dargestellt werden. Besonders hervorzuheben ist, dass auch die Tiefenlage und das Höhenprofil der Strukturen mittels Ultraschall-Querschnittsbildern ermittelt werden können. Die Messungen dauern nur wenige Minuten. Eine dreidimensionale Darstellung mittels Ultraschall – ToF ist für bestimmte Strukturen realisierbar. An einer 3D-Darstellung für allgemeine Strukturen wird mittels Synthetischer Aperture Fokusing Technique (SAFT) derzeit gearbeitet.