학술논문
子孔径拼接技术应用的研究 / Application of sub-aperture stitching technique
Document Type
Academic Journal
Author
Source
应用光学 / JOURNAL OF APPLIED OPTICS. 29(6):1009-1012
Subject
Language
Chinese
ISSN
1002-2082
Abstract
大口径光学元件的检测开拓了子孔径拼接应用的新领域.采用小口径干涉仪对大口径被测元件不同区域进行波前检测,然后恢复计算出被测波前.使用光学设计软件ZEMAX对子孔径检测拼接技术进行了模拟,模拟结果表明:波前检测相对误差小于4.3λ‰,实现了对大口径光学元件面形的高精度检测,避免了相同口径检测干涉仪的使用,降低了检测成本及难度.