학술논문
超高纯锗棒或锭的净杂质浓度检测方法 / Method for Determination of Net Impurity Concentrations in Ultra High Purity Germanium Bars or Ingots
Document Type
Academic Journal
Author
Source
广州化工 / Guangzhou Chemical Industry. 47(11):101-103
Subject
Language
Chinese
ISSN
1001-9677
Abstract
介绍了一种检测超高纯锗棒或锭的净杂质浓度的新方法,采用直流两探针法,在77 K恒温下进行检测;两探针检测得到等间距电压降U,通过函数关系式计算得到电阻率p,再根据函数关系式|NA-ND|=1/(p×q×μ),计算得到探针笔间的锗棒或锭的平均净杂质浓度| NA-ND|.该方法可以检测锗棒或锭的整体杂质浓度,检测结果相对准确,检测效率高,有利于产业化.