학술논문
微型化圆筒型与平板型DMA仿真对比研究 / Contrastive research on simulation of miniaturized cylindrical DMA and parallel DMA
Document Type
Academic Journal
Author
Source
传感器与微系统 / Transducer and Microsystem Technologies. 41(6):14-17
Subject
Language
Chinese
ISSN
1000-9787
Abstract
通过COMSOL建立圆筒型与平板型差分电迁移率分析仪(DMA)的仿真模型,保证鞘气、载气流速及分级区长度、高度相同的条件下,以50 nm粒子为检测对象,对比研究这两种结构DMA分级区体积V同步减小时,对粒子传递效率的影响.当V从15πcm3减小至6πcm3,圆筒型DMA粒子传递效率从0.99急剧下降到0.42,平板型DMA则从0.86缓慢下降到0.71,当V达到7.5πcm3时,平板型DMA的粒子传递效率开始超越圆筒型DMA;当V≤6πcm3时,实现50 nm粒子分离的圆筒型DMA内部电场达到空气击穿强度,而平板型DMA则保持稳定.平板型DMA体积V减小至3πcm3时,流场的侧壁效应变得显著,粒子传递效率降至0.5.仿真结果证明了平板型DMA更适合微型化发展,同时为DMA的微型化结构设计提供了参考.