학술논문
湿电子化学品之刻蚀液领域技术发展现状 / Technology Development Status in the Field of Etching Solutions for Wet Electronic Chemicals
Document Type
Academic Journal
Author
Source
化工管理 / Chemical Enterprise Management. (16):95-98
Subject
Language
Chinese
ISSN
1008-4800
Abstract
刻蚀液是功能性湿电子化学品中的一种,在集成电路、显示面板、太阳能电池等制程中均涉及,文章从刻蚀液专利申请量、申请人分布等方面分析了刻蚀液全球专利申请情况,并且基于刻蚀液的研发角度,从显示面板、集成电路、太阳能电池三个方面分析了刻蚀液的技术发展脉络.