학술논문
Formalisme rationnel le la méthode de détermination des contraintes résiduelles par diffraction des rayons X: application aux couches minces et multicouches
Document Type
Article
Author
Source
Journal de Physique III; June 1993, Vol. 3 Issue: 6 p1183-1188, 6p
Subject
Language
ISSN
11554320
Abstract
L'utilisation du formalisme rationnel dans la méthode de détermination des contraintes résiduelles par diffraction des rayons X améliore la rigueur, la précision et l'élégance mathématique de la méthode. Elle permet d'éviter les approximations faites dans le formalisme conventionnel, et apporte des corrections qui dépassent 15 % dans certains cas de couches minces et de multicouches.