학술논문 – 부산대학교 도서관

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Curvilinear capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT) array fabricated using a reverse process.

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Author

Caronti, A.; Coppa, A.; Savoia, A.; Longo, C.; Gatta, P.; Mauti, B.; Corbo, A.; Calabrese, B.; Bollino, G.; Paz, A.; Caliano, G.; Pappalardo, M.

Source

2008 IEEE Ultrasonics Symposium; 2008, p2092-2095, 4p

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