학술논문
一种基于金阴极 MCP 的冷阴极电子源的研制.
Document Type
Article
Source
Subject
*ELECTRON sources
*MICROCHANNEL plates
*FUSED silica
*GOLD films
*ION bombardment
*PHOTOCATHODES
*ELECTRON beams
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Language
Chinese
ISSN
1004-2997
Abstract
采用深紫外光子激发金阴极产生的冷阴极电子源具有诸多优点, 将其应用于电子轰击离子源 (EI) 有助于获得高质量的离子源. 本实验分别采用在JGS2石英玻璃上蒸镀金薄膜构成透射式金阴极、在微通道板 (MCP) 输入面蒸镀金薄膜构成反射式金阴极, 将二者以不同的组合方式装配在一起, 通过施加不同的间隙电压, 从而获得较大范围的电子流输出, 研制出电子束流可调(10-11～10-5 A)、均匀分布 (非均匀度6.5%) 的稳定输出 (稳定工作时间大于5 h) 电子源, 有望在高质量EI源中得到推广和应用. [ABSTRACT FROM AUTHOR]