소장자료
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| 940 | ▼a 이원 동시 마그네트론 스퍼터링법에 의해 증착한 아이젯트에스오 박막의 특성▲ | ||
| 999 | ▼a최덕수▼b김은주▲ |
2원 동시 마그네트론 스퍼터링법에 의해 증착한 IZSO 박막의 특성=Characteristic of IZSO films deposited by co-sputtering system
자료유형
학위논문
서명/책임사항
2원 동시 마그네트론 스퍼터링법에 의해 증착한 IZSO 박막의 특성 = Characteristic of IZSO films deposited by co-sputtering system / 이정락.
개인저자
발행사항
부산 : 부산대학교 , 2007.
형태사항
vii, 89장 : 삽도 ; 26 cm.
학위논문주기
학위논문(석사)-- 부산대학교 대학원 : 재료공학과 , 2007년 8월
서지주기
참고문헌 : 장86-88
시스템사항
Requires PDF file reader(application/pdf)
키워드
청구기호
620.11297 이73ㅇ
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