소장자료
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| 090 | ▼a621.38152▼b허77ㅂ▲ | ||
| 100 | 1 | ▼a허준영▼0254344▲ | |
| 245 | 1 | 0 | ▼a반도체 설비 자동화 =▼xSemiconductor system automation /▼d허준영 저.▲ |
| 260 | ▼a서울 :▼b홍릉과학출판사,▼c2011▲ | ||
| 300 | ▼axi, [321] p. :▼b삽화 ;▼c26 cm.▲ | ||
| 500 | ▼a색인수록▲ | ||
| 536 | ▼a본 과제(결과물)는 교육과학기술부의 재원으로 한국연구재단의 지원을 받아 수행된 광역경제권 선도산업 인재양성사업의 연구결과임▲ | ||
| 653 | ▼a반도체설비▲ | ||
| 999 | ▼c안정화▲ |
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