소장자료
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롤투롤 임프린트 리소그래피에서 패턴형상 균일성을 위한 공정변수에 관한 연구 =(A) study on the parameter control in Roll-to-Roll imprint lithography for pattern uniformity
자료유형
학위논문
서명/책임사항
롤투롤 임프린트 리소그래피에서 패턴형상 균일성을 위한 공정변수에 관한 연구 = (A) study on the parameter control in Roll-to-Roll imprint lithography for pattern uniformity / 김현택
개인저자
발행사항
부산 : 부산대학교 , 2012
형태사항
44 장 : 삽화 ; 26 cm
학위논문주기
학위논문(석사)-- 부산대학교 대학원 : 나노융합기술학과 , 2012. 2.
서지주기
참고문헌 : 장 38-42
요약주기
Abstract : 장 43-44
시스템사항
Requires PDF file reader(application/pdf)
청구기호
620.5 김94ㄹ
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