소장자료
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고품질 산화물 및 질화물 박막의 제조를 위한 마그네트론 스퍼터링법의 활용과 연구 =Study and utilization of Magnetron Sputtering System for deposition of high quality oxide and nitride thin films
자료유형
학위논문
서명/책임사항
고품질 산화물 및 질화물 박막의 제조를 위한 마그네트론 스퍼터링법의 활용과 연구 = Study and utilization of Magnetron Sputtering System for deposition of high quality oxide and nitride thin films / 박지봉
개인저자
발행사항
부산 : 부산대학교 , 2011
형태사항
vii, 91 장 : 삽화 ; 26 cm
학위논문주기
학위논문(석사)-- 부산대학교 대학원 : 재료공학과 , 2011. 2.
서지주기
참고문헌 : 장 84-87
요약주기
Abstract : 장 88-89
시스템사항
Requires PDF file reader(application/pdf)
청구기호
620.11297 박79ㄱ
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