소장자료
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극미세구조기술개발= Development of nano structure technology: 나노크리스탈 실리콘 카바이드 박막의 제조 및 특성 연구= Growth and characterization of nanocrystal silicon carbide thin films
자료유형
국내단행본
서명/책임사항
극미세구조기술개발 = Development of nano structure technology : 나노크리스탈 실리콘 카바이드 박막의 제조 및 특성 연구 = Growth and characterization of nanocrystal silicon carbide thin films / 과학기술부 [편]
책등서명
나노크리스탈 실리콘 카바이드 박막의 제조 및 특성 연구
개인저자
발행사항
[과천] : 과학기술부 , 1999.
형태사항
62장 : 삽도 ; 30cm.
일반주기
연구기관명 : 동국대학교
연구책임자 : 신동혁
연구책임자 : 신동혁
서지주기
참고문헌: p.60-62
청구기호
621.38152 한17ㄱD
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