소장자료
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999 | ▼a 장은영▼b 윤현희▲ |
알루미늄의 화학 기계적 연마시 물리적 결함에 관한 연구= A Study on physical defects during Al chemical mechanical polishing
자료유형
학위논문
서명/책임사항
알루미늄의 화학 기계적 연마시 물리적 결함에 관한 연구 = A Study on physical defects during Al chemical mechanical polishing / 문상태
개인저자
발행사항
부산 : 부산대학교 , 2000.
형태사항
58장. : 삽도 ; 26 cm.
학위논문주기
학위논문(석사)-- 부산대학교 일반대학원 : 정밀기계공학과 , 2000년 2월
청구기호
621.922 문51ㅇ
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