소장자료
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超LSIレジストの分子設計
자료유형
국외단행본
서명/책임사항
超LSIレジストの分子設計 / 津田 穰 著 ; 日本表面科學會 編.
개인저자
발행사항
東京 : 共立出版 , 1990.
형태사항
v, 117 p. : ill. ; 18 cm.
총서사항
서지주기
Includes bibliographical references and index.
ISBN
4320085116
청구기호
569.3 쓰221ㅊ
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