소장자료
| LDR | 00625camka2200217 k 4500 | ||
| 001 | 0000274414▲ | ||
| 005 | 20180520041342▲ | ||
| 007 | ta▲ | ||
| 008 | 960925s1996 gnkaf m VB 000 kor ▲ | ||
| 012 | ▼a KDM199624707▲ | ||
| 041 | 0 | ▼a kor ▼b eng▲ | |
| 052 | 0 | 1 | ▼a 427.62 ▼b 유555ㅇ▲ |
| 056 | ▼a 427.62 ▼2 3▲ | ||
| 082 | 0 | ▼a 537.623 ▼2 19▲ | |
| 090 | ▼a 427.62 ▼b 유813ㅇ▲ | ||
| 100 | 1 | ▼a 유철승▲ | |
| 245 | 1 | 0 | ▼a Rf-마그네트론 스퍼터링 증착법을 이용한 Ti-N-Si 박막의 제조와 물성에 관한 연구 / ▼d 劉哲昇.▲ |
| 260 | ▼a 진주 : ▼b 慶尙大學校, ▼c 1996.▲ | ||
| 300 | ▼a 42장 : ▼b 삽도,도판 ; ▼c 26cm.▲ | ||
| 502 | 0 | ▼a 학위논문(석사)--▼b 경상대학교 대학원: ▼c 물리학과, ▼d 1996▲ | |
| 653 | ▼a Rf-마그네트론 ▼a 스퍼터링 ▼a 증착법 ▼a TI-N-SI ▼a 박막▲ |
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