소장자료
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| 012 | ▼a KDM199411875▲ | ||
| 041 | 0 | ▼a kor ▼b eng▲ | |
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| 082 | 0 | ▼a 620.193 ▼2 19▲ | |
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| 100 | 1 | ▼a 이영준▲ | |
| 245 | 1 | 0 | ▼a Reactive RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 Si(100)기판 MgO박막제조에 관한 연구 / ▼d 이영준.▲ |
| 260 | ▼a 포항 : ▼b 포항공과대학, ▼c 1994.▲ | ||
| 300 | ▼a 65장 : ▼b 삽도,도판 ; ▼c 26cm.▲ | ||
| 502 | 0 | ▼a 학위논문(석사)--▼b 포항공과대학 대학원: ▼c 재료.금속공학과 무기재료전공, ▼d 1994▲ | |
| 653 | ▼a REACTIVE ▼a RF ▼a 마그네트론 ▼a 스퍼터링법 ▼a MGO ▼a 박막제조▲ | ||
| 940 | ▼a 리액티브 알에프 마그네트론 스퍼터링법에 의한 에스아이기판...▲ |
Reactive RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 Si(100)기판 MgO박막제조에 관한 연구
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