소장자료
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990 | ▼a 허성경▼b 김형각▲ |
Silicon processing for the VLSI era
자료유형
국외단행본
서명/책임사항
Silicon processing for the VLSI era / Stanley Wolf, Richard N. Tauber.
발행사항
Sunset Beach, Calif. : Lattice Press , 1986 - 1990.
형태사항
3 v. xxiv, 660 p. : ill. ; 26 cm.
서지주기
Includes bibliographical references and indexes.
내용주기
v. 1. Process technology -- v. 2. Process integration -- v. 3. The submicron MOSFET.
ISBN
0961672137 (v. 1 : hbk*) 0096167237 (v. 1) 096167245 (v. 2) 0961672145 (v.2)
청구기호
621.395 W855s
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