소장자료
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Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of SnO2 Thin Films Using SnCl4 and O2 Plasma =SnCl4와 O2 플라즈마를 이용한 PEALD법으로 증착된 SnO2 박막 특성에 관한 연구
자료유형
학위논문
서명/책임사항
Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of SnO2 Thin Films Using SnCl4 and O2 Plasma = SnCl4와 O2 플라즈마를 이용한 PEALD법으로 증착된 SnO2 박막 특성에 관한 연구 / Lee Dong Kwon
개인저자
발행사항
부산 : 부산대학교 대학원 , 2016
형태사항
ix, 54 장 : 삽화 ; 26 cm
일반주기
지도교수: Kwon Se Hun
학위논문주기
학위논문(석사)-- 부산대학교 대학원 : 재료공학과 , 2016. 8.
서지주기
참고문헌: 장 49-52
요약주기
국문초록: 장 53-54
시스템사항
Requires PDF file reader(application/pdf)
키워드
청구기호
621.38152 이225ㅍ
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