소장자료
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| 090 | ▼a621.38152▼b이44ㅂA▲ | ||
| 100 | 1 | ▼a이병철▲ | |
| 245 | 1 | 0 | ▼a반도체 장비 재료 =▼xMaterials of semiconductor equipment /▼d이병철,▼e김덕영,▼e성홍석 공저▲ |
| 260 | ▼a서울 :▼b복두출판사,▼c2015▲ | ||
| 300 | ▼a229 p. :▼b삽화 ;▼c26 cm▲ | ||
| 504 | ▼a각 장마다 참고문헌 수록▲ | ||
| 653 | ▼a금속결정구조▼a실리콘▼a반도체제조공정▲ | ||
| 700 | 1 | ▼a김덕영▲ | |
| 700 | 1 | ▼a성홍석▲ | |
| 999 | ▼a김진영▼c안정화▲ |
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