소장자료
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| 999 | ▼a김진영▼c윤현희▲ |
マイクロ·ナノ領域の超精密技術
자료유형
국외단행본
서명/책임사항
マイクロ·ナノ領域の超精密技術 / 日本学術振興会将来加工技術第136委員会 編.
발행사항
東京 : オーム社 , 平成23[2011]
형태사항
ix, 374 p. : 揷畵 ; 22 cm.
서지주기
文献あり 索引あり
ISBN
9784274210051
청구기호
620.5 일45ㅁ
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