소장자료
| LDR | 01553nam a2200409 k 4500 | ||
| 001 | 0009246160▲ | ||
| 005 | 20180521042933▲ | ||
| 007 | ta▲ | ||
| 008 | 080702s2008 tjka t SO 000a kor ▲ | ||
| 035 | ▼a (KERIS)BIB000011352165▲ | ||
| 040 | ▼a 221016▼c 221016▲ | ||
| 041 | 0 | ▼a kor▼b eng▲ | |
| 082 | 0 | ▼a 621.3815▼2 21▲ | |
| 088 | ▼a PE-68206-RZ-U002▲ | ||
| 090 | ▼a 621.3815▼b 한17ㅂC▲ | ||
| 110 | ▼a한국원자력연구원.▼b양성자기반공학기술개발사업단▲ | ||
| 245 | 1 | 0 | ▼a반도체 소자의 신뢰성 개선을 위해 반도체 표준 제조 공정에서 사용할 수 있는 중수소 이온 주입공정 개발=▼x(The) development of deuterium implantation method applicable to the standard semicconductor manufacturing process for the improvement of device reliabilty/▼d한국원자력연구원 양성자기반공학기술개발사업단 [편].▲ |
| 260 | ▼a대전:▼b한국원자력연구원 양성자기반공학기술개발사업단,▼c2008.▲ | ||
| 300 | ▼aviii, 31장:▼b삽도;▼c30 cm.▲ | ||
| 500 | ▼a 이 보고서는 과학기술부에서 시행한 양성자기반공학기술개발사업의 연구보고서임▲ | ||
| 500 | ▼a 주관연구기관 : 위덕대학교▲ | ||
| 500 | ▼a 주관연구책임 : 이재성▲ | ||
| 500 | ▼a 연구원 : 도승우, 배군호, 윤정훈▲ | ||
| 500 | ▼a 세부과제명 : 양성자가속기 이용자프로그램 개발 및 운영(Development and management of proton acceleratir user program)▲ | ||
| 500 | ▼a 세부과제명 : 사업유치지역 협력프로그램 구축 및 운영(Project host site cooperation system building and management)▲ | ||
| 504 | ▼a 참고문헌 : 장30-31▲ | ||
| 520 | ▼a 요약문 및 Summary 수록 ▲ | ||
| 700 | 1 | ▼a 이재성▲ | |
| 700 | 1 | ▼a 도승우▲ | |
| 700 | 1 | ▼a 배군호▲ | |
| 700 | 1 | ▼a 윤정훈▲ | |
| 710 | ▼a위덕대학교▲ | ||
| 740 | ▼a 양성자가속기 이용자프로그램 개발 및 운영 ▲ | ||
| 740 | ▼a 사업유치지역 협력프로그램 구축 및 운영▲ | ||
| 740 | ▼a Development and management of proton acceleratir user program▲ | ||
| 740 | ▼a Project host site cooperation system building and management▲ | ||
| 999 | ▼a 허정애▼b허정애▲ |
반도체 소자의 신뢰성 개선을 위해 반도체 표준 제조 공정에서 사용할 수 있는 중수소 이온 주입공정 개발=(The) development of deuterium implantation method applicable to the standard semicconductor manufacturing process for the improvement of device reliabilty
자료유형
국내단행본
서명/책임사항
반도체 소자의 신뢰성 개선을 위해 반도체 표준 제조 공정에서 사용할 수 있는 중수소 이온 주입공정 개발 = (The) development of deuterium implantation method applicable to the standard semicconductor manufacturing process for the improvement of device reliabilty / 한국원자력연구원 양성자기반공학기술개발사업단 [편].
부출서명
양성자가속기 이용자프로그램 개발 및 운영
사업유치지역 협력프로그램 구축 및 운영
Development and management of proton acceleratir user program
Project host site cooperation system building and management
사업유치지역 협력프로그램 구축 및 운영
Development and management of proton acceleratir user program
Project host site cooperation system building and management
발행사항
대전 : 한국원자력연구원 양성자기반공학기술개발사업단 , 2008.
형태사항
viii, 31장 : 삽도 ; 30 cm.
일반주기
이 보고서는 과학기술부에서 시행한 양성자기반공학기술개발사업의 연구보고서임
주관연구기관 : 위덕대학교
주관연구책임 : 이재성
연구원 : 도승우, 배군호, 윤정훈
세부과제명 : 양성자가속기 이용자프로그램 개발 및 운영(Development and management of proton acceleratir user program)
세부과제명 : 사업유치지역 협력프로그램 구축 및 운영(Project host site cooperation system building and management)
주관연구기관 : 위덕대학교
주관연구책임 : 이재성
연구원 : 도승우, 배군호, 윤정훈
세부과제명 : 양성자가속기 이용자프로그램 개발 및 운영(Development and management of proton acceleratir user program)
세부과제명 : 사업유치지역 협력프로그램 구축 및 운영(Project host site cooperation system building and management)
서지주기
참고문헌 : 장30-31
요약주기
요약문 및 Summary 수록
청구기호
621.3815 한17ㅂC
소장정보
예도서예약
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