소장자료
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| 999 | ▼c강설혜▲ |
고효율 광학소자 제작을 위한 전자빔 리소그래피 및 나노 임프린트 공정연구
자료유형
학위논문
서명/책임사항
고효율 광학소자 제작을 위한 전자빔 리소그래피 및 나노 임프린트 공정연구 / 오승훈.
개인저자
발행사항
부산 : 부산대학교 , 2011.
형태사항
ix, 136 장 : 삽화 ; 26 cm
학위논문주기
학위논문(박사)-- 부산대학교 대학원 : 나노융합기술학과 , 2011. 8.
서지주기
참고문헌 : 장 114-127
요약주기
국문초록 : 장 128-130
시스템사항
Requires PDF file reader(application/pdf)
청구기호
621.38152 오58ㄱ
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