소장자료
| LDR | 00758namka2200241 k 4500 | ||
| 001 | 0000579101▲ | ||
| 005 | 20180519124947▲ | ||
| 007 | ta▲ | ||
| 008 | 030923s2003 ggka 000 korBU▲ | ||
| 040 | ▼a 221016 ▼d 221016▲ | ||
| 041 | 0 | ▼a kor▼b eng▲ | |
| 082 | 0 | ▼a 621.366 ▼2 21▲ | |
| 088 | ▼a MS-02-338-01▲ | ||
| 090 | ▼a 621.366 ▼b 한17ㅁ▲ | ||
| 110 | ▼a 한국.▼b 과학기술부▲ | ||
| 245 | 1 | 0 | ▼a 마이크로 액추에이터 내장형 LIGA X-선 마스크 제작기법 개발과 그 응용=▼x Deep X-ray mask with integrated microactuator for 3D LIGA microfabrication/▼d 과학기술부 [편];▼e 이승섭 책임연구;▼e 포항공과대학교 연구기관.▲ |
| 260 | ▼a 과천 :▼b 과학기술부,▼c 2003.▲ | ||
| 300 | ▼a 62 p.:▼b 삽도;▼c 30 cm.▲ | ||
| 440 | 0 | 0 | ▼a 지능형마이크로시스템개발사업=▼x Intelligent microsystem program▲ |
| 504 | ▼a 참고문헌 : p. 51-52▲ | ||
| 700 | 1 | ▼a 이승섭▲ | |
| 710 | ▼a 포항공과대학교▲ | ||
| 999 | ▼a 허성경▼b 허성경▲ |
마이크로 액추에이터 내장형 LIGA X-선 마스크 제작기법 개발과 그 응용= Deep X-ray mask with integrated microactuator for 3D LIGA microfabrication
자료유형
국내단행본
서명/책임사항
마이크로 액추에이터 내장형 LIGA X-선 마스크 제작기법 개발과 그 응용 = Deep X-ray mask with integrated microactuator for 3D LIGA microfabrication / 과학기술부 [편] ; 이승섭 책임연구 ; 포항공과대학교 연구기관.
개인저자
발행사항
과천 : 과학기술부 , 2003.
형태사항
62 p. : 삽도 ; 30 cm.
총서사항
지능형마이크로시스템개발사업 = Intelligent microsystem program
서지주기
참고문헌 : p. 51-52
청구기호
621.366 한17ㅁ
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