소장자료
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유도결합(ICP) 플라즈마를 이용한 진공건식도금 응용기술 및 장치 개발= Development of coating technology and process by inductively coupled plasma
자료유형
국내단행본
서명/책임사항
유도결합(ICP) 플라즈마를 이용한 진공건식도금 응용기술 및 장치 개발 = Development of coating technology and process by inductively coupled plasma / 과학기술부 편
부출서명
유도결합 플라즈마를 이용한 진공건식도금 응용기술 및 장치 개발
개인저자
발행사항
경기도 : 과학기술부 , 2002 - 2005.
형태사항
책 : 삽도,도표 ; 30 cm.
총서사항
국가지정연구실사업 = National research laboratory program
일반주기
연구기관 : 서울대학교 Plasma Surface Engineering Lab.
연구책임자 : 이정중
연구책임자 : 이정중
서지주기
참고문헌 수록
내용주기
v.2002, 188장. - v.2005, 351 p.
요약주기
요약문, Summary 수록
청구기호
671.73 한17ㅇC
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