소장자료
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500 | ▼a 이 보고서는 과학기술부에서 시행한 특정연구개발사업의 연구보고서임.▲ | ||
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전자, 정보/통신용 유전체 박막 미소 기전소자화 기술 개발= Dielectric MEMS device technology for electronics, information and communication system
자료유형
국내단행본
서명/책임사항
전자, 정보/통신용 유전체 박막 미소 기전소자화 기술 개발 = Dielectric MEMS device technology for electronics, information and communication system / 과학기술부 편 ; LG전자기술원 연구 ; 남효진 연구책임.
발행사항
[과천] : 과학기술부 , 2002.
형태사항
124 p. : 삽도 ; 30 cm.
일반주기
연구원 : 김동천, 이돈희, 조성문, 김영식, 이헌민, 박재영, 이영주, 김화년
이 보고서는 과학기술부에서 시행한 특정연구개발사업의 연구보고서임.
이 보고서는 과학기술부에서 시행한 특정연구개발사업의 연구보고서임.
서지주기
초록 및 요약문 : p. 1-4/summary: p. 5-8/참고문헌: p. 111-113/
청구기호
621.3815 한17ㅈB
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