소장자료
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A Study on the Heat Resistance of Boron-doped DLC films by RF-PECVD
자료유형
학위논문
서명/책임사항
A Study on the Heat Resistance of Boron-doped DLC films by RF-PECVD = RF-PECVD법에 의한 붕소도핑 DLC 박막의 열저항성 연구 / Wanrong Li
개인저자
발행사항
부산 : 부산대학교 대학원 , 2019
형태사항
vii, 50 장 ; 삽화 ; 30 cm
일반주기
지도교수: Tae Gyu Kim
학위논문주기
학위논문(석사)-- 부산대학교 대학원 : 나노융합기술학과 , 2019. 8.
서지주기
참고문헌: 장 46-48
요약주기
국문요약 및 Abstract 수록
시스템사항
Requires PDF file reader(application/pdf)
키워드
청구기호
620.5 리66ㅇ
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