학술논문
Characterization of Functional Composite Transparent Conducting Oxide Thin Films and Their Application to High Brightness LEDs / 고효율 발광다이오드 응용을 위한 기능성 복합 투명전도산화물 박막의 특성평가
Document Type
Dissertation/ Thesis
Source
Subject
Language
English
Abstract
본 연구의 목표는 일반 조명용 광원장치와 실생활에 활용할 수 있는 높은 발광 효율과 열적 안정성이 우수한 고휘도 백색 발광다이오드(LEDs)를 개발하는 것이다. GaN 발광다이오드의 TCEs 응용을 위한 cTCO (NiO:AZO, CuO:AZO)박막 연구는 기존의 TCO 박막이 가지는 낮은 캐리어 농도와 이동성, p-GaN층의 non-ohmic 거동 및 높은 접촉저항과 같은 핵심 문제를 극복하기 위한 추가적인 실험을 필요로 한다. 백색발광 다이오드의 발광효율 향상에 요구되는 포토닉 결정구조의 형성을 위해 나노구체 치수와 레이어 수와 같은 특정 변수를 제어하는 형광나노구체 코팅 공정의 개발 또한 필요하다. 본 논문에서는 Sol-gel 기술을 이용하여 550도에서 알곤과 N2/H2 혼합기체 분위기에서 열처리를 통해 성공적으로 cTCO 박막을 합성하였다. 이 cTCO 박막의 전기저항은 0.00207 Ωcm 이고 광학투과율은 90 % 정도의 값을 가진다. 본 연구에서 제조된 cTCO 박막은 고효율 발광다이오드 개발에 효과적으로 적용될 수 있을 것으로 기대된다.