학술논문
Application and Evaluation of New Non-Evaporable Getter (NEG) Coating / 新しい非蒸発ゲッター（NEG）コーティングの応用と評価
Document Type
Journal Article
Author
Ayako Hashimoto; Hiroo Kato; Katsuyuki Fukutani; Kazuhiko Mase; Markus Wilde; Masashi Kurihara; Masuaki Matsumoto; Naoya Terashima; Shinya Ohno; Takashi Kikuchi; Tetsuya Miyazawa; Yasuo Nakayama; Yoshihiro Kato; Yu Kano; Yuto Natsui; ビルデ マーカス; 中山 泰生; 加藤 博雄; 加藤 良浩; 夏井 祐人; 大野 真也; 宮澤 徹也; 寺島 矢; 松本 益明; 栗原 真志; 橋本 綾子; 狩野 悠; 福谷 克之; 菊地 貴司; 間瀬 一彦
Source
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2018, :1673
Subject
Language
Japanese
ISSN
2436-7613